原子层沉积生长速率的控制研究进展
卢维尔1, 董亚斌1,2, 李超波1, 夏洋1, 李楠1

Research Progress on Growth Rate Controlling of Atomic Layer Deposition
LU Wei-Er1, DONG Ya-Bin1,2, LI Chao-Bo1, XIA Yang1, LI Nan1
图8 热ALD和PEALD生长氧化镧的生长速率与温度的关系曲线 [ 36 ]
Fig. 8 Growth rates of thermal and PE-ALD La 2 O 3 as a function of growth temperature of T s [ 36 ]