GaN基LED图形衬底的性能研究
李程程
1
, 徐智谋
1
, 孙堂友
1
, 王智浩
1
, 王双保
1
, 张学明
1
, 彭静
2
Research for Patterned Sapphire Substrates of GaN-based LEDs
LI Cheng-Cheng
1
, XU Zhi-Mou
1
, SUN Tang-You
1
, WANG Zhi-Hao
1
, WANG Shuang-Bao
1
, ZHANG Xue-Ming
1
, PENG Jing
2
图4 常见图形衬底结构示意图
Fig. 4 The diagrams of common patterned substrate structure