不同基底上SiO2薄膜的显微结构和力学性能
王河1,2, 贺洪波1, 张伟丽1

Substrate Effects on the Microstructure and Mechanical Properties of SiO2 Thin Films
WANG He1,2, HE Hong-Bo1, ZHANG Wei-Li1
图3 aSiO 2 K9、bSiO 2 YAG111和cSiO 2 YAG100弹性模量-压入深度曲线
Fig. 3 Modulus-depth curves of a SiO 2 K9 b SiO 2 YAG 111 cSiO 2 YAG100