不同基底上SiO<sub>2</sub>薄膜的显微结构和力学性能

不同基底上SiO₂薄膜的显微结构和力学性能

王河^1,², 贺洪波¹, 张伟丽¹

Substrate Effects on the Microstructure and Mechanical Properties of SiO₂ Thin Films

WANG He^1,², HE Hong-Bo¹, ZHANG Wei-Li¹

图2 三种基底上薄膜的载荷-位移曲线
Fig. 2 Load-displacement curves of SiO 2 films deposited on different substrates