多孔α-Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>基陶瓷片状载体的制备与性能

多孔α-Al₂O₃基陶瓷片状载体的制备与性能

陈圣博¹, 刘旭光¹, 张宝泉^1,²

Preparation and Properties of Porous α-Al₂O₃Based Ceramic Disk Substrates

CHEN Sheng-Bo¹, LIU Xu-Guang¹, ZHANG Bao-Quan^1,²

图7 SiO 2 粉体a,b和SiO 2 Al 2 O 3 陶瓷片的表面c,d和断面e,f SEM照片
Fig. 7 SEM images of SiO 2 powdera, b and SiO 2 Al 2 O 3 ceramic disk Top view c, d; Cross section e, f