多孔α-Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>基陶瓷片状载体的制备与性能

多孔α-Al₂O₃基陶瓷片状载体的制备与性能

陈圣博¹, 刘旭光¹, 张宝泉^1,²

Preparation and Properties of Porous α-Al₂O₃Based Ceramic Disk Substrates

CHEN Sheng-Bo¹, LIU Xu-Guang¹, ZHANG Bao-Quan^1,²

图3 超细#cod#x003b1;-Al 2 O 3 a,b粉体和Al 2 O 3 -1180的表面c,d和断面e,f SEM图片
Fig. 3 SEM images of ultrafine #cod#x003b1;-Al 2 O 3 powdera, b and Al 2 O 3 -1180 top view c,d; cross section e, f