VSe<sub>2</sub>薄膜的光电性质及背接触特性的研究

VSe₂薄膜的光电性质及背接触特性的研究

杨镓溢, 高静静, 王文武, 曾广根, 李卫, 冯良桓, 张静全, 武丽丽, 黎兵

Optoelectrical Properties and Back Contact Characteristic of VSe₂ Thin Films

YANG Jia-Yi, GAO Jing-Jing, WANG Wen-Wu, ZENG Guang-Gen, LI Wei, FENG Liang-Huan, ZHANG Jing-Quan, WU Li-Li, LI Bing

图2 不同退火温度下VSe 2 薄膜样品的SEM照片
Fig. 2 SEM images of VSe 2 thin films annealed at different temperatures a 200℃; b 250℃; c 300℃