在Sr 2+ :α-BBO单晶衬底上生长β-BBO薄膜的研究

doi:10.3724/SP.J.1077.2006.01454

无机材料学报

在Sr ²⁺:α-BBO单晶衬底上生长β-BBO薄膜的研究

刘军芳¹, 徐军², 姚武¹

1. 同济大学材料科学与工程学院, 上海 200092; 2. 中科院上海光学精密机械研究所, 上海201800

收稿日期:2005-11-28 修回日期:2006-02-24 出版日期:2006-11-20 网络出版日期:2006-11-20

Growth of β-BBO Thin Films on Sr ²⁺ -doped α-BBO Substrates

LIU Jun-Fang¹, XU Jun², YAO Wu¹

1. College of Materials Science and Engineering, Tongji University, Shanghai 200092, China; 2. Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China

Received:2005-11-28 Revised:2006-02-24 Published:2006-11-20 Online:2006-11-20

摘要/Abstract

摘要： 采用液相外延法、脉冲激光沉积法以及气相传输平衡法在Sr ²⁺ : α-BBO(001) 衬底上生长了质量优异的β-BBO 薄膜, 对薄膜进行了X射线衍射测试以及双晶摇摆曲线分析, 结果表明, 采用Sr²⁺ :α-BBO单晶作为衬底制备的β-BBO薄膜具有高的择优取向度和低的半峰宽值. 同目前制备β-BBO薄膜所采用的其他衬底材料相比, Sr²⁺ :α-BBO和β-BBO之间具有结构相似、透光范围匹配以及化学稳定性匹配的优点, 表明Sr ²⁺ :α-BBO单晶将是生长β-BBO薄膜的优异衬底材料.

Abstract: Crystalline β-BBO thin films were successfully prepared on (001)-oriented Sr²⁺ -doped α-BBO substrates by using liquid phase epitaxy, pulsed laser deposition and vapor transport equilibration techniques. The films were characterized by X-ray diffraction and X-ray rocking curve. The present results manifest that the β-BBO thin films grown on Sr ²⁺ -doped α-BBO substrates have larger degree of orientation f value and smaller X-ray rocking curve FWHM than the ones grown on other reported substrates. Compared with other substrates, α-BBO has the similar structure, the same UV cutoff and the same chemical properties to β-BBO. These results reveal that Sr ²⁺ -doped α-BBO single crystal may be a promising substrate proper to the growth of β-BBO films.

中图分类号:

TQ171

刘军芳,徐军,姚武. 在Sr ²⁺:α-BBO单晶衬底上生长β-BBO薄膜的研究[J]. 无机材料学报, DOI: 10.3724/SP.J.1077.2006.01454.

LIU Jun-Fang,XU Jun,YAO Wu. Growth of β-BBO Thin Films on Sr ²⁺ -doped α-BBO Substrates[J]. Journal of Inorganic Materials, DOI: 10.3724/SP.J.1077.2006.01454.

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在Sr ²⁺:α-BBO单晶衬底上生长β-BBO薄膜的研究

Growth of β-BBO Thin Films on Sr ²⁺ -doped α-BBO Substrates

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